Üniversitemiz Merkezi Araştırma Laboratuvarı bünyesinde bulunan SEM cihazının kullanımı hakkında merkezimiz çalışanlarına uygulamalı eğitim verildi. 16.04.2025 tarihinde Öğr. Gör. Dr. Anıl Fırat FELEK tarafından verilen eğitimde cihazın temel özellikleri ve kullanım pratikleri anlatıldı.

SEM, çok küçük bir alana odaklanmış yüksek enerjili elektronlarla yüzeyin taranarak, örnek yüzeyinden yüksek çözünürlükte görüntü alınmasını sağlayan sistemlerdir. SEM aracılığıyla katı (kuru) malzeme örneklerinin yüzey detayları, mikro ve nano boyutlarda görüntülenebilmekte; bu malzemeleri oluşturan element türleri ve miktarları oransal olarak EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) yaklaşımıyla belirlenebilmektedir.

Cihazımızın Teknik Özellikleri:

Cihazın 2 farklı temel analiz modu vardır:

1. Yüksek vakum modu ile iletken örnekler, toz örnekler, ince filmler, kaplanmış yalıtkan örneklerin analizi,
2. Düşük vakum modu ile de kaplama yapılmamış yalıtkan örnekler, polimerler analiz edilebilmektedir.

Tungsten tel nitelikte elektron tabancası
360° rotasyon ile numuneyi döndürebilme ve -20° ile 90° aralığında yana yatırabilme açıları (tilt)
Çözünürlük: 640×480 - 2,560×1,920 piksele kadar çözünürlük

Dedektör: SE ve BSE ana dedektörleri mevcuttur.

• 3.0nm/ 30kV (Yüksek vakum modu, ikincil elektron)
• 4.0nm/ 30kV (Değişken basınç modu, geri saçılan elektron)
• Büyütme: x5- x300,000
• Hızlandırma Voltajı: 0.3 – 30kV
• Düşük Vakum Alanı: 6-270 Pa
• Maksimum Örnek Boyutu: 153mm çapında
• Maksimum Yükseklik: 60mm (WD:15mm)

EDX mikro analiz ve görüntüleme, analitik 15 mm' lik çalışma mesafesinden 60 mm' ye kadar bir aralıkta çalışılabilir.